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产品资料
Auto500GB
简介：

Auto500GB是专门设计用于手套箱集成使用的镀膜设备，满足氧气或水汽敏感的材料镀膜的应用要求。该系统配了一个特殊结构的真空腔室，可直接与市场上大多数手套箱集成到一起。可以进行电子束蒸发，热阻蒸发等物**相沉积镀膜。系统配置可选择多种腔室尺寸和工艺附件，以符合用户需求。
产品详情
真空腔室的前门可竖直滑动开关，嵌入手套箱内，并占用很少的手套箱空间；其后门是铰链扇式开关，能在不影响手套箱内气氛的情况下轻松维护腔室内工艺组件。
 

镀膜源选项包括热阻蒸发源、精密控温的有机蒸发源、磁控溅射源以及电子束蒸发源。





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